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精密運動平臺定做廠家
代工各類精密直線運動平臺、半導體及檢測運動平臺
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代工各類精密直線運動平臺、半導體及檢測運動平臺
應用領域：
一款直驅三軸精密運動臺，帶旋轉功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。
結構特點：
XY軸十字疊層三片式結構，底軸寬度約是上軸長度的2/3，移動到極限位置時，防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好等特點。R軸轉臺結構扁平薄，三軸疊層后降低工作點的高度，可360度旋轉，用于角度調整，是晶圓切割加工應用的理想選擇。
精度性能：
采用光柵閉環反饋，考慮材料的熱膨脹影響，加工工藝和裝配工藝等，使XY軸重復定位精度≤±0.4μm，全行程直線度±1μm和平面度±1.25μm，R軸微動步距1arc sec。
防塵管理：
精密運動臺的防塵設計，有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進入直線臺，影響使用壽命，同時不受防塵罩擾動力的影響。
定制化：
根據應用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產效率等；可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統方案。
本文關鍵詞： 精密運動平臺
